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韓国 Will be S & T社製 (CMP用 Retainer Ring)
韓国半導体大手メーカにマーケットシャア大。
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従来のPPS,SUSの貼り付けタイプに比べ、PPSの剥がれが無く、又、
PPSとSUSの接合部のスラリーパーティクルによるマイクロスクラッチ
をなくしました。
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| ■製品仕様 |
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材質：PEEK+METAL (Injection Mold方式) |
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| ■特長 |
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-PEEK採用により長寿命の実現. |
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-Molding方式採用によりマイクロスクラッチの改善 |
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-安定したRemoval Rateと長寿命を実現. |
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-耐食性に優れ各種プロセスに対応可能 |
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| ■対応装置 |
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-Applied Materials |
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-EBARA |
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東京都公安委員会 古物商認可番号 第308880505673
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