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CMP Pad Conditioner パッドコンディショナー
弊社取り扱パッドコンディショナー(CMP用 Disk/ Pad Conditioner)
特長はスクラッチ発生がありません。

Hot N2 Sysyem 排気詰り防止
独自の加熱方式(熱交換)を採用しており従来にない効果を発揮し排気
ラインの詰まりを防止します。


クリーンガス加熱器
ガスを汚染する事無く350℃まで加熱することが可能です。
チャンバパージラインに設置すると効果的です。


消耗品
各種消耗品を扱っております。お問い合わせ下さい。

リテーナーリング
Will be S & T 社製 CMP用リテーナリング。
PEEK インジェクション方式採用により、従来品に比べ大幅に寿命改善。
東京都公安委員会 古物商認可番号 第308880505673 

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