株式会社カイはSaesolダイヤモンドの正式な販売代理店です。
■仕様
電着整列配列タイプ
■特長
優れたダイヤモンド保持力
最小限のマイクロスクラッチの実現
Removal Rateの安定とLong Life
耐腐食性に優れ各種プロセスに対応
■対応プロセス
Oxide,W,Cu,その他
■対応装置
AMAT,EBARA,東京精密,ストラスバ,
SpeedFam, その他
■その他
Si Waferポリッシュにも対応
-2015.July 電子デバイス産業新聞に紹介されました。
-過去の記事