       
 
 |
 |
|
|
| |
本製品の販売を終了致しました。 |
|
|
 |
|
 |
|
|
|
|
|
|
|
ガスを汚染する事無く350℃まで加熱することが可能です。
チャンバパージラインに設置すると効果的です。 |
|
|
|
|
|
|
|
| ■製品仕様 |
|
-型式： SH-02HT(クリーン仕様） |
|
|
-最大流量：2L |
|
|
-最高使用温度：３５０℃ |
|
|
-電源：AC100V 300VA |
|
|
|
|
装置組込み、既設ライン設置に最適です。
|
|
|
|
| ■ご提案 |
|
高温チャンバプロセス後に常温のパージガスを導入すると
チャンバ内の安定した温度バランスが崩れ、何らかの問題
が発生する。加熱後のガスを導入することで解消する。
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
 |
|
東京都公安委員会 古物商認可番号 第308880505673
Copyright Kai Co.,Ltd.All right Reserved |
|
